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商品描述:光照射在掩模上發(fā)生衍射,衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面,這一成像過(guò)程是一個(gè)光學(xué)過(guò)程,描述這一過(guò)程的模型即為光學(xué)模型
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